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发布时间:2020-08-20 06:16:00 作者:瑞泰威科技





嵌入可动电极的微惯性传感器的设计
MEMS电容式微惯性传感器因其具有尺寸小、灵敏度高、稳定性好、温度漂移小、功耗低、很好的工作在力平衡模式下等等优点,在***、汽车工业、生物医学、消费电子、惯性导航等领域得到广泛的应用。 本首先分析了电容式微惯性传感器的测量控制原理和系统动态模型,并在此基础上通过三个方面设计出新型嵌入横向可动电极的微惯性传感器,分别是:支撑梁结构、微执行器结构和检测电容结构。通过分别对以上三方面不同结构模型的分析对比,在传感器设计中选用U形梁结构作为传感器的支撑梁,电磁执行器作为驱动力,梳栅结构作为检测电容结构。目标物接近传感器时,不论目标物金属种类如何,振荡频率都会提高。
其中为了克服深反应离子刻蚀关于深宽比不能做大的限制和降低噪声,详细介绍了电磁驱动增大传感器初始检测电容的工作原理,通过嵌入可动电极和电磁驱动作用减小电容间隙,结果表明,电磁驱动使得传感器的电容间隙减小4μm,初始检测电容由1.28pf增大到6.4pf。 根据以上理论分析和参数设计,给出了新型电容式微惯性传感器的整体结构模型,并利用有限元软件Ansys进行。结果表明所设计的传感器在非敏感方向上梁的刚度较大,轴向交叉效应得到了有效抑制;传感器的静态位移灵敏度为0.659μm/g,施加电磁驱动前后的电容灵敏度分别为0.15pf/g和0.192pf/g,增大为原来的1.28倍;仅仅几毫安的电流,这种自加热效应就会产生温度误差(这些误差是可纠正的,但需要进一步的斟酌考量)。同时应力分析结果表明,传感器能够抵挡1000g的加速度信号的冲击而不被损坏。之后利用电磁分析软件ANSOFT-Maxwell分析了边缘效应对传感器性能的影响,表明小尺寸的传感器电容的边缘效应不可忽略。
温湿度传感器
气象传感器是一种信息检测装置,它可以将检测到的测量信息按照一定的规则转换成电信号或其他信号,并以所需的形式输出,以满足信息传输、处理、存储等要求。如今,各种新型气体传感器也为该行业的发展提供了巨大的帮助,其中温湿度传感器在小型气象监测中发挥着至关重要的作用。当该传感器的检测概率较低时,极易造成整个多传感器系统发生漏检。
我们都知道农作物生产与气候条件密切相关,如合理的光照度、适当的温湿度等是影响其正常生长的重要因素,所以说合理的监测有利于农业生产。下面工采网分别从温度与湿度两个方面来说一下对作物生长的影响:
温度对植物生长的影响:
温度对植物生长的影响是综合的,它不仅影响光合作用、呼吸、蒸腾等代谢过程,还通过影响有机物合成和运输等代谢过程影响植物生长。它也可以直接影响土壤温度、气温,同时通过影响水和肥料的吸收和运输来抑制作物生长。
湿度对植物生长的影响:
空气相对湿度或饱和差是影响植物吸水和蒸腾的重要因素之一。影响湿度的因素主要取决于水蒸气来源、和空气保持水蒸气的能力。相对湿度的饱和差会限制某些植物花药开裂、花粉传播和萌发时间,从而影响植物的授粉和受精。湿度也与农作物病虫害的发生密切相关。例如,高湿度很容易导致小麦锈病和其他疾病的流行。Maxim的温度监控器IC测量温度并提供功率开关输出,适用于基于温度的监测和控制应用。
汽车一般有几种传感器?
在种类繁多的传感器中,常见的有∶
1、进气压力传感器:反映进气歧管内的压力大小的变化,是向ECU(发动机电控单元)提供计算喷油持续时间的基准信号。
2、空气流量计:测量发动机吸入的空气量,提供给ECU作为喷油时间的基准信号。
3、节气门位置传感器:测量节气门打开的角度,提供给ECU作为断油、控制燃油/空气比、点火提前角修正的基准信号。
4、曲轴位置传感器:检测曲轴及发动机转速,提供给ECU作为确***火正时及工作顺序的基准信号。
5、氧传感器:检测排气中的氧浓度,提供给ECU作为控制燃油/空气比在(理论值)附近的的基准信号。
汽车传感器过去单纯用于发动机上,已扩展到底盘、车身和灯光电气系统上了。这些系统采用的传感器有100多种。
扩展资料
传感器通常由敏感元件、转换元件和测量电路三部分组成。
1、敏感元件是指能直接感受(或响应)被测量的部分,即将被测量通过传感器的敏感元件转换成与被测量有确定关系的非电量或其它量。
2、转换元件则将上述非电量转换成电参量。
3、测量电路的作用是将转换元件输入的电参量经过处理转换成电压、电流或频率等可测电量,以便进行显示、记录、控制和处理的部分。
CMOS传感器你知道多少
CMOS传感器采用普通半导体电路常用的CMOS工艺,具有集成度高、功耗小、速度快、本钱低等特性,近几年在宽动态、低照度方面展开疾速。CMOS即互补性金属氧化物半导体,主要是应用硅和锗两种元素所做成的半导体,经过CMOS上带负电和带正电的晶体管来完成基本的功用。这两个互补效应所产生的电流即可被处置芯片记载和解读成影像。Robbes等人提出,该类传感器主要由磁电阻传感器和超导磁场放大器构成。
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